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J-GLOBAL ID：200903084497689125

ガス検知方法

Inventor： 中村 雅之 ,  杉本 岩雄 ,  桑野 博喜
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996112323
Publication number (International publication number)：1997297096
Application date： May. 07, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高精度で、小型な、膜厚および温度補正機能付きのガス検知センサと検知方法を低原価で提供する。【解決手段】 ガス吸着前の所定膜厚値を有するカウンタ出力から周波数変化(吸着量)を計算し(S004)、膜厚のばらつき補正(S005)、温度変化による補正(S006)を行う。

Claim (excerpt)：

表面に吸着膜を有する水晶発振子のセンサを用い、被検知ガスの前記吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の変化を求めることにより被検知ガスを検知するガス検知方法において、ガス吸着前の膜厚値から換算した、基準発振子の共振周波数とガス吸着後の前記センサの共振周波数との差から、共振周波数の変化を求めることを特徴とするガス検知方法。