光吸収式オゾン濃度計

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000185387
Publication number (International publication number)：2002005826
Application date： Jun. 20, 2000
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】暖気時間を大幅に短縮して高速応答性を有し、小型及び低価格であって、高精度で信頼性の高い光吸収式オゾン濃度計を提供する【解決手段】光吸収式オゾン濃度計1は、紫外線12を発光する固体式LED8と、試料を収納する試料セル2と、紫外線12が試料セル2を透過した透過光13の強度を検出する検出器10とを有し、検出器10による検出結果から試料セル2内のオゾン濃度を測定する。この固体式LED8は、ダイヤモンド半導体薄膜からなるLEDであり、これにより発光された紫外線は、その発光強度が安定しており、その発光スペクトルは、発光ピークが240乃至270nmに存在し、その半値幅がオゾンの吸収スペクトルの半値幅よりも狭い。

Claim (excerpt)：

紫外線を発光する紫外線光源と、試料を収納する試料セルと、前記試料セルを透過した前記紫外線の強度を検出する検出器とを有し、前記紫外線光源は発光ピークが240乃至270nmに存在して半値幅がオゾンの吸収スペクトルの半値幅よりも狭い発光スペクトルの紫外線を発光する固体発光素子を有し、前記検出器の検出結果から前記試料セル内のオゾン濃度を測定するものであることを特徴とする光吸収式オゾン濃度計。

IPC (2)：

G01N 21/33 , H01L 33/00

FI (3)：

G01N 21/33 , H01L 33/00 A , H01L 33/00 L

F-Term (25)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059BB06 , 2G059CC08 , 2G059DD12 , 2G059DD20 , 2G059EE01 , 2G059FF06 , 2G059GG02 , 2G059GG08 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059KK01 , 2G059MM09 , 2G059NN01 , 2G059NN02 , 2G059PP10 , 5F041CA33 , 5F041CA46 , 5F041CA49 , 5F041CA57 , 5F041CA64 , 5F041CA67 , 5F041CA85 , 5F041FF16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭53-105287
紫外線レーザ素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-105235 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開昭51-100792

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