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J-GLOBAL ID：200903084522568109
微粒子構造体の作成方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
酒井 宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002099228
Publication number (International publication number)：2003290648
Application date： Apr. 01, 2002
Publication date： Oct. 14, 2003
Summary：
【要約】【課題】 面内方位の制御が可能であり、しかも比較的広い範囲に高品質の微粒子構造体を作成することによってフォトニック結晶に好適な微粒子構造体を作成する。【解決手段】 Siウェハ101上に膜を形成された膜が線状に除去された部分に球状の微粒子を付着させた後すべての膜を除去し、微粒子が線状に配列する線状微粒子配列パターン109を形成する。また、線状微粒子配列パターンを成長の開始点とする引き上げ方法によって微粒子107を堆積し、微粒子構造体膜110を作成する。
Claim (excerpt)：
基板上に膜を形成する膜形成工程と、前記膜形成工程によって形成された膜を前記基板表面に沿う線状に除去し、線状のパターンを形成するパターニング工程と、前記パターニング工程によって膜が除去された部分に球状の微粒子を付着させる微粒子付着工程と、基板上の前記膜を除去し、前記微粒子付着工程によって付着した微粒子が線状に配列する線状微粒子配列パターンを形成する微粒子パターン形成工程と、前記膜が除去された基板上に微粒子の分散液を展開し、前記線状微粒子配列パターンを成長の開始点とする引き上げ方法によって微粒子を堆積し、微粒子構造体膜を作成する微粒子構造体膜作成工程と、を含むことを特徴とする微粒子構造体の作成方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
2H049AA31
, 2H049AA44
, 4G075AA24
, 4G075AA25
, 4G075AA70
, 4G075BB02
, 4G075BB10
, 4G075CA33
, 4G075DA01
