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J-GLOBAL ID：200903084534406805

試料観察用プレート、試料調整方法および試料観察装置

Inventor： 村松 宏
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999242915
Publication number (International publication number)：2001066239
Application date： Aug. 30, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 表面が分子レベルで平滑で、安価な試料観察プレートを提供することで、分子レベルの形状観察と光学観察を再現性よく行えるようにする。【解決手段】 分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、試料観察プレートに疎水性膜12をパターニングして被覆し、試料観察用プレートを構成した。さらに、この試料観察用プレートを用いて観察装置を構成した。

Claim (excerpt)：

分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、基板上に少なくとも疎水性の試料調整位置決め用パターンが形成されていることを特徴とする試料観察用プレート。

IPC (2)：

G01N 13/10 ,  G01N 1/10

FI (3)：

G01N 13/10 D ,  G01N 1/10 N ,  G01N 1/10 C