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J-GLOBAL ID：200903084591944708
X線基板検査装置とX線用可視光反射膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松村 博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998099377
Publication number (International publication number)：1999295242
Application date： Apr. 10, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】 X線を用いた基板検査装置において、対象物の検査部位の位置合わせが容易にでき、かつ同一領域のX線検査と可視光による外観画像検査を同時に実現させる。【解決手段】 X線源1と検査対象物2の間、及び検査対象物2とX線撮像部4の間に、X線の照射線量を減衰することなく透過させ、可視照明機器10a,10bより検査対象物2へ照射された可視光を反射させるプラスチック素材のフィルム系の反射膜5a,5bが設けられている。そして検査対象物2の表面の反射光は、反射膜5a,反射ミラー7a及びハーフミラー8を介して、また検査対象物2の裏面の反射光は、反射膜5b,反射ミラー7b及びハーフミラー8を介して1つの可視光用カメラ9により捉えられる。この可視光用カメラ9の捉えた画像によりX線検査をしたい任意の位置への移動を基板位置決めXYテーブル3で行う。そして上記X線を捉えるX線撮像部4と、可視光用カメラ9の各取り込み画像の処理をコントローラ11で行い、表示器12に画像表示して検査を行うようにしている。
Claim (excerpt)：
X線源から検査対象物へ照射されたX線透過画像を取り込むX線撮像部と、前記X線源と検査対象物の間、及び検査対象物とX線撮像部の間に設けられ、かつ可視照明機器より検査対象物の表面・裏面に照射された光の反射光を得るための対に配置された反射膜と、前記表面・裏面の反射光を選択するシャッター,反射ミラー及びハーフミラーを介してX線照射範囲を捉える1つの可視光用カメラとを有することを特徴とするX線基板検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 23/04
, G01N 21/84 D
Cited by examiner (7)
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