Pat

J-GLOBAL ID：200903084593264615

静電チャック

Inventor： 川合 信 ,  新井 健一 ,  中山 初代
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993319291
Publication number (International publication number)：1995176602
Application date： Dec. 20, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 温度サイクルにより発生する熱応力を緩和することができ、かつ絶縁耐電圧性が高いので放電現象も防止できる、長寿命で高性能な静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/265 ,  H02N 13/00