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J-GLOBAL ID：200903084614502120

圧電振動子ユニット、圧電振動子ユニットの製造方法、及びインクジェット式記録ヘッド

Inventor：
北原 強

About 北原 強


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 木村 勝彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998263199
Publication number (International publication number)：2000094679
Application date： Sep. 17, 1998
Publication date： Apr. 04, 2000
Summary：
【要約】【課題】 外部接続用導電層の形成工程を簡素化と信頼性の向上を図ること。【解決手段】 圧電振動子を構成する内部個別電極17、または内部共通電極18を構成する導電層同士を圧電振動子の端面よりも内側のスルーホール21a、21b、20a、20bで相互接続して長手方向の表面に形成されたセグメント電極22、コモン電極23に接続するから、形成が困難な端面や、また角部への導電層が不要となり、また先端面での若干の欠けによっても導電関係が確保される。
Claim (excerpt)：
振動領域に内部個別電極と内部共通電極とがラップするように導電層を圧電材料を介して積層するとともに、少なくとも一方の端部領域で前記圧電材料を貫通し、かつ前記内部個別電極となる前記導電層同士、または前記内部共通電極となる前記導電層同士をスルーホールに充填された導電材料により接続して、前記各導電層を接続する前記スルーホールの導電材料、または前記内部個別電極同士を接続する前記スルーホールの導電材料に接続する外部電極層を長手方向の1つの面に形成した圧電振動子を複数固定基板に固定してなる圧電振動子ユニット。
IPC (4)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/083
FI (3)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 Q
F-Term (14)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG45 ,  2C057AG48 ,  2C057AG82 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AG98 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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