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J-GLOBAL ID：200903084626722380

ステッパの位置合せおよび解像度測定用バーニアを有するホトマスク

Inventor： ホワング ジュン
Applicant, Patent owner： ヒュンダイ エレクトロニクス インダストリイズ カンパニー リミテッド
Agent (1)： 長谷 照一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995068174
Publication number (International publication number)：1996286391
Application date： Mar. 27, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体素子の製造において、ステッパ使用時の位置合せ、解像度、焦点などの精度を測定するためのバーニアを、それが占める領域の大きさを減少させ、相対的に異なるいろいろなパターンおよびバーニアを形成すべき十分な空間を確保する。【構成】ステッパを使用する半導体素子の製造において、露光時の位置合せの際に所定の精度を測定するためのバーニアを有するホトマスクを、ウエハのスクライブレイン内の所定の部位に、自らが占める領域の大きさが最小になるように、所定の自動位置合せ測定用のパターン、解像度および焦点測定用のパターン、および肉眼位置合せ測定用のパターンを集めて、集中配置して形成する。

Claim (excerpt)：

半導体素子の製造時にステッパの位置合せおよび解像度測定用のバーニアを有するホトマスクにおいて、ウエハのスクライブレイン内の所定の部位に、自ら占める領域の大きさが最小になるように、所定の自動位置合せ測定用のパターンと、解像度および焦点測定用のパターンと、および肉眼位置合せ測定用のパターンとを集めて配置した構造を有することを特徴とするホトマスク。

IPC (4)：

G03F 9/00 ,  G03F 1/02 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 9/00 H ,  G03F 1/02 ,  G03F 1/08 D ,  H01L 21/30 525 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-111037
  
• 特開昭57-186753
  
• 特公昭51-047028