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J-GLOBAL ID：200903084627668974

コヒーレンス走査干渉測定法におけるデータの高速捕捉方法および装置

Inventor： デック,レスリー,エル.
Applicant, Patent owner： ジゴー コーポレーション
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994518061
Publication number (International publication number)：1996502828
Application date： Jan. 13, 1994
Publication date： Mar. 26, 1996
Summary：

【要約】物体の粗表面の断面を画く方法は、干渉計(1)を用いて物体表面(14)の干渉パターンを生成して撮像装置(18)の画素上に光源強度を生成し、各画素に対する零の光路差を含む範囲にわたって干渉計(1)の物体表面(14)と参照表面(22)間の光路差を変化させ、干渉弁別器関数の値を計算してコヒーレンス領域を識別し、コヒーレンス領域周辺の複数の強度値を撮像装置(18)で収集して各画素に対して格納し、干渉弁別器関数計算の状態又は値によって識別される時、所定の位相差だけ前記範囲に沿って分離した連続データポイントにおいて、各画素に対して、前記範囲に沿った複数の強度値の相対位置を格納し、格納された強度値から選択された2画素間の高さの差を公知の方法を用いて計算する。発明を実施する装置も開示される。

Claim (excerpt)：

物体の表面の輪郭を画くためのデータの高速捕捉方法であって、 (a)物体表面の所定の特徴が撮像装置の撮像アレイに対して光学的に整列するように物体表面を光軸に沿って設置させ、 (b)干渉計によって物体表面の干渉パターンを生成させ、かつ、撮像装置を作動させて該干渉パターンを記録し; (c)物体表面と干渉計の参照表面との間の光路差を、撮像アレイの各画素に対する零の光路差を含む所定範囲にわたって変化させ; (d)変化する光路差に沿って撮られた連続する画像間の所定の位相差によって規定される等間隔のインターバルで、撮像アレイの各画素において強度値を受入れるように、撮像アレイを光路差の変化と共に動作させ、 (e)各画素によって受入れられた強度値を、各画素について干渉が依存するか否かを決定するための干渉弁別器に印加し、 (f)干渉弁別器によって識別された干渉領域における複数の強度値を各画素に対して格納し、 (g)各画素に対して少なくとも1つの格納された強度値と共に、その少なくとも1つの格納された強度値の該所定範囲に沿った相対的な位置を同時に格納し、 (h)格納された強度値と、各画素の格納された相対的な位置とを用いて、各画素に対して零の光路差の該範囲に沿う位置を演算することによって所定の物体の表面の特徴における高さを決定する方法。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02