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J-GLOBAL ID：200903084642428343

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004069030
Publication number (International publication number)：2004302445
Application date： Mar. 11, 2004
Publication date： Oct. 28, 2004
Summary：
【課題】 本発明の目的は、良好なプロファイルを示し、露光後加熱(PEB)依存性が小さい感光性組成物を提供する。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物(A成分)の含有量:a質量部、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂(B成分)の含有量: b質量部、性能調整剤(C成分)の含有量:c質量部、及び、溶剤(D成分)の含有量:d質量部の関係が、以下の式(1)を満足し、式(2)及び(3)の少なくともいずれかを満足する感光性組成物。 尚、cは0であってもよい。 (a+b+c)/(a+b+c+d)=0.03〜0.10 (1) [(A成分の分子中の芳香環数+1)×a]/(a+b+c) (2) =0.05〜0.80 a/(a+b+c)=0.03〜0.20 (3)【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物(A成分)、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂(B成分)、性能調整剤(C成分)及び溶剤(D成分)を含有する感光性組成物であって、A成分、B成分、C成分及びD成分の含有量、a、b、c及びd(質量部)が、式(1)及び(2)を満たすことを特徴とする感光性組成物。ただし、cは0であってもよい。 (a+b+c)/(a+b+c+d)=0.03〜0.10 (1) [(A成分の分子中の芳香環数+1)×a]/(a+b+c) (2) =0.05〜0.80
IPC (2)：
G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (2)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (14)：
2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (8)
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