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J-GLOBAL ID：200903084643588352

低電力の熱空気圧マイクロ弁

Inventor： ヘニング アルバート カール ,  ズデブリック マーク ,  フィッチ ジョン スチュアート ,  ホプキンズ ディーン アリン ジュニア ,  リリー リスリー ジョー
Applicant, Patent owner： レッドウッド マイクロシステムズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998550637
Publication number (International publication number)：2002504977
Application date： May. 20, 1998
Publication date： Feb. 12, 2002
Summary：

【要約】流体ポートを形成する流体チャンネルプレート(30)を具備する熱空気圧弁。流体チャンネルプレートには、ダイアフラムプレート(28)が取り付けられる。このダイアフラムプレートは、流体チャンネルプレートの流体ポートを選択的に遮断する変位可能なダイアフラム(44)を含んでいる。ダイアフラムプレートには、断熱ヒータ(22)が結合されている。この断熱ヒータは、加熱表面をもった断熱ヒータ本体と、変位可能なダイアフラムの位置を制御するために使用される熱空気圧作業流体(40)を閉じ込める延長された軸方向キャビティを画定する周囲壁と、前記変位可能なダイアフラムの延長された軸方向キャビティの中への移動を制限するダイアフラム妨害構造(46)とを含んでいる。

Claim (excerpt)：

流体ポートを形成する流体チャンネルプレートと; 前記流体チャンネルプレートに取り付けられたダイアフラムプレートであっ て、前記流体チャンネルプレートの前記流体ポートを選択的に閉鎖する変位可 能なダイアフラムと; 前記ダイアフラムプレートに接続された断熱ヒータであって、加熱表面を有 する断熱ヒータ本体、前記変位可能なダイアフラムの位置を制御するために用 いられる熱空気圧作業流体を閉じ込める、延長された軸方向キャビティを画定 する周囲壁、および前記変位可能なダイアフラムの前記延長された軸方向キャ ビティの中への運動を制限するダイアフラム妨害構造を含む断熱ヒータ とを具備する熱空気圧弁。

IPC (5)：

F16K 31/126 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  F16K 31/02 ,  F25B 41/04

FI (5)：

F16K 31/126 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  F16K 31/02 Z ,  F25B 41/04 Z