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J-GLOBAL ID：200903084664353169

液晶表示装置検査用プローブカード

Inventor： 藤原 貴典
Applicant, Patent owner： 三井造船株式会社
Agent (1)： 小川 信一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993336302
Publication number (International publication number)：1995199219
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ICやプリント配線などの手法を用いた手段で製造できる液晶表示装置検査用プローブカードを提供する。【構成】 シリコン基板10上の酸化膜10aに形成した接点Pパターンを形成し、異方性エッチングでキャビティ11を形成し、プローブパターン9h部分に金属蒸着し、更に電気メッキにより硬質金属膜を形成し、エッチングによりプローブ9aを突出させ、フレキシブルプリント基板13上に形成したプリント配線13aを介してコネクタ12を接続し取付け台板9bに接合・固定した。

Claim (excerpt)：

シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この酸化膜に、プローブがITO電極に接する接点パターンを形成し、このパターン部分に異方性エッチングによりシリコン基板に達する逆ピラミッド状キャビティを形成し、このキャビティ形成部分から、外部回路に接続する端子形成位置までの間に金属蒸着膜を形成し、その上に硬質金属膜を電気メッキにより形成して所定の形状の金属配線層を形成し、エッチング手段により不要なシリコン露出部を除去し、フレキシブルプリント基板上に形成したプリント配線を介して前記電気メッキ層とコネクタとを接続した組み立て体を、取付け台板に接合・固定した液晶表示装置検査用プローブカード。

IPC (5)：

G02F 1/136 500 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/1343