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J-GLOBAL ID：200903084679716730

半導体搬送装置

Inventor： 浜本 栄太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社フジタック
Agent (1)： 内田 和男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992108904
Publication number (International publication number)：1993283503
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 板状半導体を垂直に立てた状態でシャトルフレームに保持し、該シャトルフレームを移動させて板状半導体を搬送する如く構成すると共に、該シャトルフレームの案内装置を組立誤差及び熱による膨張収縮を吸収できる構造として常に板状半導体を滑らかに、かつ精度良く搬送する。【構成】 基台に固定された丸棒状ガイドレール上をシャトルフレームに固定された摺動体に配設されたボールを転動させて該シャトルフレームを水平方向に移動させて、板状半導体を搬送するようにした構成を特徴とする。

Claim (excerpt)：

板状半導体を垂直に立てた状態で保持する回転フレームを該回転フレームの垂直軸線を中心として回動自在にシャトルフレームに配設し前記板状半導体を前記回転フレームと共に回転させてその向きを変更し、また前記シャトルフレームを水平方向に移動させることにより前記板状半導体を搬送するように構成した半導体搬送装置において、軸線を水平方向に向けて配設され前記シャトルフレームに固定されたナットに螺合し回転することによって前記シャトルフレームを水平方向に搬送する送りねじと、前記送りねじと平行に基台に固定された丸棒状ガイドレールと、該丸棒状ガイドレール上を転動する如く複数のボールが装着され前記丸棒状ガイドレールにより案内されて摺動するように前記シャトルフレームに固定された摺動体とを備えたことを特徴とする半導体搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B65G 47/52 101 ,  B65G 47/80 ,  B65G 49/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-114031
  
• 特開昭63-081925
  
• 特開平2-026045