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J-GLOBAL ID：200903084680914553

耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法

Inventor： 山崎 康裕 ,  剣持 克彦
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992027211
Publication number (International publication number)：1993193977
Application date： Jan. 17, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】発泡性の高純度シリカゲルを加熱発泡させ、得られた非晶質二酸化けい素発泡体を粉砕して150μm以下の粒径に調整するこ耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法。【効果】本発明の方法は、その操作が容易で、得られる耐熱性石英ガラス製造用粉末材料は、ベルヌイ法等のガラス化処理によって耐熱性の顕著に向上した高純度で透明な石英ガラスを効果的且つ工業的に有利に製造することができ、特に、半導体熱処理用治具として有用で、その実用的価値は極めて高い。

Claim (excerpt)：

発泡性の高純度シリカゲルを加熱発泡させ、得られた非晶質二酸化けい素発泡体を粉砕して150μm以下の粒径に調整することを特徴とする耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法。

IPC (4)：

C03C 3/06 ,  C01B 33/157 ,  C01B 33/18 ,  C03B 20/00