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J-GLOBAL ID:200903084693718656

低露点空気供給システム及び乾式減湿装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 金本 哲男 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996249118
Publication number (International publication number):1998076131
Application date: Aug. 30, 1996
Publication date: Mar. 24, 1998
Summary:
【要約】【課題】 エネルギ消費の少ない低露点空気供給システムを構築する。【解決手段】 ドライルームRに低露点の空気を供給するシステムにおいて、ドライルームRからの還気RA2を乾式減湿装置10のパージ区域11cに導入すると共に、パージ区域11cの出口側の空気を、再生区域11b寄りの部分を通過した高温側パージ空気C1と、減湿区域11a寄りの部分を通過した低温側パージ空気C2とに分離する。高温側パージ空気C1は再生系統の空気に混合し、低温側パージ空気C2は、処理空気と混合する。乾式減湿装置10の再生、及び外気処理に要するエネルギの双方が同時に低減できる。
Claim (excerpt):
吸着機能や吸収機能を有する回転自在なロータを有し、当該ロータ端面に位置する空気通過域が、ロータ中心から放射状に減湿区域、再生区域、パージ区域に仕切られている乾式減湿装置を用いて処理空気を処理して、目的室に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記目的室からの還気がパージ区域に導入されると共に、パージ区域出口側の空気は再生区域寄りの部分を通過する空気と、減湿区域寄りの部分を通過する空気とに分離され、前記再生区域寄りの部分を通過した空気は、再生区域を通過させる再生系統の空気に混合され、前記減湿区域寄りの部分を通過した空気は、前記処理空気と混合されるように構成されたことを特徴とする、低露点空気供給システム。
IPC (2):
B01D 53/26 101 ,  B01D 53/06
FI (2):
B01D 53/26 101 B ,  B01D 53/06 A

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