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J-GLOBAL ID：200903084724808012
表面欠陥検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川▲崎▼ 研二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994235507
Publication number (International publication number)：1996101130
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 被検査体の異常を確実に検出でき、しかも安価に構成できる表面欠陥検査装置を提供する。【構成】 図13(a)は被検査体をラインセンサで撮像して得られる信号であり、被検査体の傷、色むら等の不具合に対応する箇所でレベルが高くなっている。この信号を、レベルTH2を閾値として二値データに変換しメモリに記憶してゆくと、同図(b)のような画像データが得られる。本発明にあっては、ハッチングを施した範囲を欠陥候補とし、近接する欠陥候補を連結することによって被検査体の異常を検出する。すなわち、範囲19に属する複数の離散した欠陥候補19a,19b,19c,......は相互に連結され、これによって広い面積に渡る欠陥の存在することが検出される。
Claim (excerpt)：
被検査体の表面を撮像し、この被検査体の不具合に対応した画素値を有する画像データを出力する撮像手段と、前記画像データ中の各不具合部分の面積を算出する面積算出手段と、前記各不具合部分の相互間の距離を算出する距離算出手段と、前記距離が所定値未満である複数の不具合部分の面積の合計値を求める加算手段と、前記合計値が所定の面積閾値を超えると、前記被検査体は不良であると判定する判定手段とを具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03G 21/00
