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J-GLOBAL ID：200903084731563220

液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

Inventor： 伊東 美紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996358904
Publication number (International publication number)：1998193614
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 複数の高密度のインク流路溝をレーザ加工により短時間に作成することを可能とし、記録装置の高精細化、高解像度化に対応しうる液体噴射記録ヘッドの製造方法を実現する。【解決手段】 液体噴射記録ヘッドを構成する天板30に高密度のインク流路溝31をマスク35を介してレーザ加工する際に、加工時間を分割し、レーザの周波数、エネルギー密度および待機時間のうち少なくとも一つを変化させて、少なくとも2回にわたりそして全体として溝の深さに必要なパルス数のレーザ光を照射するようにして、高密度のインク流路溝31を加工する。このようなレーザ光の照射により、高密度化に伴なって影響が大きくなる加工中の熱等のレーザ光による天板への負荷を減らして、インク流路溝の損傷を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

複数のインク吐出口の各々に対応して設けられるインク流路を構成するために溝を有した天板と、前記インク流路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子を有した基板とを接合することによって構成される液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記天板が有する溝をレーザ加工する際に、レーザ光の照射による加工時間を分割し、レーザの周波数、エネルギー密度および待機時間のうち少なくとも一つを変化させて少なくとも2回にわたりレーザ光を照射し、高密度の溝を加工することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/05 ,  B23K 26/00 330 ,  B41J 2/16

FI (3)：

B41J 3/04 103 B ,  B23K 26/00 330 ,  B41J 3/04 103 H