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J-GLOBAL ID：200903084744882952

薄膜太陽電池の製造方法

Inventor： 田淵 勝也
Applicant, Patent owner： 株式会社富士電機総合研究所
Agent (1)： 山口 巖 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001050586
Publication number (International publication number)：2002252360
Application date： Feb. 26, 2001
Publication date： Sep. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 マーカー穴を基準点として位置決めを行ない、各種の薄膜形成や加工等を行なう際のマーカー穴の誤検出を防止して、各種加工の確実性を向上し、もって製造歩留まりの向上を図った薄膜太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】 基板を長尺基板とし、この長尺基板1上に直列に接続してなる薄膜太陽電池と電力の取り出し用の電極層とを有する薄膜太陽電池群2を、基板の長尺方向に所定の間隔をおいてパターニングして複数形成し、基板の前記間隔領域に設けた位置決め用のマーカー穴3aを基準点として、第1電極層,光電変換層,透明電極層などの各層の形成,各パターニング等の加工を行なう薄膜太陽電池の製造方法において、前記マーカー穴3aを薄膜太陽電池群の最外パターニングライン23aの延長線上よりも所定の寸法だけ外側の基板領域に設ける。

Claim (excerpt)：

電気絶縁性を有する基板の表面に、第1電極層,光電変換層,透明電極層を順次積層し、単位部分にパターニングして複数個の単位光電変換部分(ユニットセル)に分割し、このユニットセル相互を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池の製造方法において、前記基板は長尺基板とし、この長尺基板上に前記直列に接続してなる薄膜太陽電池と電力の取り出し用の電極層とを有する薄膜太陽電池群を、基板の長尺方向に所定の間隔をおいてパターニングして複数形成し、基板の前記間隔領域に設けた位置決め用のマーカー穴を基準点として、前記各層の形成,各パターニング等の加工を行なう薄膜太陽電池の製造方法であって、前記マーカー穴を前記薄膜太陽電池群の最外パターニングラインの延長線上よりも所定の寸法だけ外側の基板領域に設けることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。

IPC (2)：

H01L 31/04 ,  B24C 3/32

FI (3)：

B24C 3/32 D ,  B24C 3/32 A ,  H01L 31/04 T

F-Term (8)：

5F051AA05 ,  5F051BA14 ,  5F051CA21 ,  5F051CB30 ,  5F051EA16 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051GA05