荷電粒子線顕微鏡装置、荷電粒子線応用装置、荷電粒子線顕微方法、荷電粒子線検査方法、及び電子顕微鏡装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000377027
Publication number (International publication number)：2002184336
Application date： Dec. 12, 2000
Publication date： Jun. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】短焦点の対物レンズを用いた電子顕微鏡装置において、低加速電圧条件での観察時に、低倍率から高倍率までの広い倍率範囲において高解像度で歪みのない良好な画像の取得を可能とする電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】電子源1、収束レンズ2、上段偏向コイル4、下段偏向コイル5、対物レンズ7、電子線偏向用の補正磁界レンズ9等から構成される電子顕微鏡装置において、対物レンズ7で発生する歪曲収差を電子線偏向用の補正磁界レンズ9で発生させた逆向きの歪曲収差によってキャンセルし、低倍率から高倍率までの広い倍率範囲において高解像度で歪みのない良好な走査電子顕微鏡像を取得する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線を収束させるための収束レンズと、試料を載置した試料台と、荷電粒子線を前記試料上に結像させるための対物レンズと、前記対物レンズで発生する歪曲収差を打ち消す如く補正する如く励磁された補正レンズと、前記補正レンズを挟んで前記試料台に載置された試料上を荷電粒子線が走査するための偏向器と、を有することを特徴とする荷電粒子線顕微鏡装置。

IPC (5)：

H01J 37/153 , G03F 7/20 504 , H01J 37/147 , H01J 37/28 , H01L 21/027

FI (5)：

H01J 37/153 B , G03F 7/20 504 , H01J 37/147 B , H01J 37/28 B , H01L 21/30 541 B

F-Term (10)：

2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C033FF08 , 5C033JJ05 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5F056AA01 , 5F056EA05 , 5F056EA06 , 5F056EA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

電子線光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-236505 Applicant：株式会社トプコン
荷電粒子ビームカラム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-115480 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
多極子レンズ電子光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-175266 Applicant：株式会社東芝

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