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J-GLOBAL ID：200903084747560085

層状複合酸化物微粒子を用いた薄膜形成法

Inventor： 田中 彰 ,  篠原 清晃 ,  堂免 一成
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996049760
Publication number (International publication number)：1997241036
Application date： Mar. 07, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 層状構造を有する複合酸化物の薄膜を、均一な膜厚で均質に形成する方法を提供する。【解決手段】 アミン又はアンモニウム塩を用いて層状複合酸化物の層を剥離して微粒子を作る工程と、前記微粒子を用いて基板上に薄膜を形成する工程とにより、層状複合酸化物の薄膜を形成する。

Claim (excerpt)：

アミン又はアンモニウム塩を用いて層状複合酸化物の層を剥離して微粒子を作る工程と、前記微粒子を用いて基板上に薄膜を形成する工程とから成ることを特徴とする、層状複合酸化物微粒子を用いた薄膜形成法。

IPC (4)：

C03C 17/25 ,  C01G 1/00 ,  C01G 33/00 ,  C23C 24/00

FI (4)：

C03C 17/25 A ,  C01G 1/00 B ,  C01G 33/00 A ,  C23C 24/00