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J-GLOBAL ID：200903084753828499

電気特性測定装置及び測定方法

Inventor： 粉川 良平 ,  須佐 匡裕 ,  小嶋 理恵
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 塩野入 章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001316852
Publication number (International publication number)：2003121459
Application date： Oct. 15, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 被測定対象の電気特性を非破壊的に測定する。【解決手段】 探針として原子間力顕微鏡等の走査プローブ顕微鏡が備えるカンチレバーなどの微小探針を用い、原子間力の範囲で圧力あるいは変位を制御して、微小探針を被測定材料に接触させ、これによって、微小探針の被測定対象への接触圧力を原子間力の範囲に制御しながら4探針法による測定し、また、電気抵抗率の接触圧力依存性あるいは変位依存性を求めることができる。

Claim (excerpt)：

複数の微小探針と、前記各微小探針を少なくとも一軸方向に個別に制御可能とする探針制御手段と、前記各微小探針と被測定対象との間の変位又は各微小探針と被測定対象との間に働く力を検出する検出手段と、前記各微小探針の少なくとも一対を測定端子とする測定手段とを備え、前記探針制御手段は、前記検出手段の出力に基づいて各微小探針を前記一軸方向に位置制御し、前記測定手段は、測定端子間の電気的検出に基づいて被測定対象の電気特性を測定する電気特性測定装置。

IPC (4)：

G01R 1/06 ,  G01N 13/16 ,  G01R 27/02 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01R 1/06 E ,  G01N 13/16 A ,  G01N 13/16 C ,  G01R 27/02 R ,  H01L 21/66 B

F-Term (13)：

2G011AA15 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AE03 ,  2G028AA04 ,  2G028BB11 ,  2G028BC01 ,  2G028CG02 ,  2G028HN11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DH51