Pat

J-GLOBAL ID：200903084780334775

帯電防止膜及び低屈折率低反射膜及び低反射帯電防止膜

Inventor： 森本 剛 ,  真田 恭宏 ,  久保田 恵子 ,  阿部 啓介 ,  竹宮 聡 ,  河里 健 ,  平塚 和也
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991267161
Publication number (International publication number)：1993080204
Application date： Sep. 18, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：

【要約】【構成】SnO2:Sb粒子を分散させた液と、Ti(C5H7O2)n(OR)m(但しn+m=4,m=0〜3,n=1〜4,R=C1〜C4のアルキル基)を含む液とを混合した溶液を基体上に塗布した後、加熱して帯電防止膜を形成する。その上に、MgF2、珪素化合物、Zr化合物、Ti化合物、Al化合物、Sn化合物等を含む液を塗布した後、加熱して低屈折率膜を形成して低反射帯電防止膜を形成する。【効果】十分な帯電防止性能と低反射性能を有し、高耐久性も兼ねそなえた低反射帯電防止膜を実現できる。

Claim (excerpt)：

Ti(C5H7O2)n(OR)m(但しn+m=4,m=0〜3,n=1〜4,R=C1〜C4のアルキル基)のうち少くとも1種、及びSbをドープしたSnO2粒子を含む溶液を基体上に塗布した後、加熱することにより得られた帯電防止膜。

IPC (2)：

G02B 1/10 ,  H01J 9/20