強誘電体装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992167860
Publication number (International publication number)：1994013542
Application date： Jun. 25, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】強誘電体特性の劣化の無い、且つリーク電流の小さい新しい強誘電体装置構造を提供する。【構成】強誘電体装置に関し、(1)基体101表面に形成した電極103上に、緩衝層104を介して強誘電体膜105と電極106とを形成する事、(2)基体表面に形成した電極表面に形成した強誘電体膜上に、緩衝層を介して電極を形成する事、および(3)基体表面に形成した電極表面に形成した強誘電体膜に、中間層として緩衝層を形成する事である。等の構造とする。

Claim (excerpt)：

基体表面に形成された電極上には、緩衝層を介して強誘電体膜と電極とが形成されて成る事を特徴とする強誘電体装置。

IPC (2)：

H01L 27/04 , H01L 21/314

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-133369
特開平4-099365
特開平2-304962

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