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J-GLOBAL ID：200903084794993461

構造体の制御方式

Inventor： 上田 守正 ,  横山 雄一郎 ,  岡本 清和
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 木下 實三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999140060
Publication number (International publication number)：2000329528
Application date： May. 20, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 経年変化や外力の作用を受けても、基準面から測定面までの寸法を常時一定に保持でき、また、基準面と測定面との平行ないし傾きを常時一定に維持できる構造体の制御方式を提供。【解決手段】 柱状構造体2の内部に、測定面16aの基準面1aに対する測定面16aの寸法および傾きを計測するレーザ干渉測長計を設ける。測定面16aの変位に伴って変化する干渉信号を、目標値に一致するように、駆動部17を駆動させて制御する。

Claim (excerpt)：

基準面上に構築される構造体を備え、この構造体は、内部が真空密閉空間となった本体部と、前記基準面に対しての測定面を有する端面部と、前記本体部および端面部の間に設けられ前記端面部を駆動させる駆動部とを含み形成され、この構造体の内部には、前記基準面上かつ前記真空密閉空間の一端に設けられた第1の反射面と、この第1の反射面とは反対側かつ前記真空密閉空間の他端に設けられた第2の反射面とを計測光路の両端とするレーザ干渉測長計が設けられ、前記第2の反射面は、前記端面部に設けられ、前記レーザ干渉測長計の測定値により前記駆動部を制御して前記第1の反射面と第2の反射面との寸法および姿勢を所定の値に維持する構造体の制御方式において、光源からの光ビームを2分するとともに一方を参照信号として検出し、他方を前記構造体に入射して得られる1個の光ビームを中心角で均等に分割した少なくとも3つの分割領域より検出される少なくとも3本の計測光路の光学的干渉信号として検出し、これらの参照信号および光学的干渉信号から前記第2の反射面の前記少なくとも3つの分割領域に対応する少なくとも3つの点における計測値を検出し、別の計測手段により前記端面部の測定面を前記基準面に対して平行に調整した時の前記少なくとも3つの点における計測値を制御の目標値として検出し、これらの計測値および目標値により、前記光ビームの少なくとも3つの分割領域に対応して配置されている前記駆動部の駆動素子を制御し、前記基準面と前記測定面間との寸法および平行度を一定に維持することを特徴とする構造体の制御方式。

IPC (4)：

G01B 11/14 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/26 ,  G05D 3/12

FI (4)：

G01B 11/14 G ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/26 G ,  G05D 3/12 H

F-Term (59)：

2F064AA04 ,  2F064AA06 ,  2F064CC07 ,  2F064CC10 ,  2F064DD02 ,  2F064DD04 ,  2F064DD08 ,  2F064EE02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG38 ,  2F064GG44 ,  2F064GG52 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA22 ,  2F065AA33 ,  2F065DD00 ,  2F065DD11 ,  2F065DD14 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP01 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  5H303AA20 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB14 ,  5H303BB18 ,  5H303CC01 ,  5H303CC06 ,  5H303DD14 ,  5H303GG13 ,  5H303MM05 ,  5H303QQ03 ,  5H303QQ06