Pat
J-GLOBAL ID：200903084795084546
カンチレバー状変位素子、カンチレバー型プローブ及びそれを用いた情報処理装置と走査型トンネル顕微鏡
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991276331
Publication number (International publication number)：1993087514
Application date： Sep. 30, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 逆圧電効果を利用したカンチレバー状変位素子において、大きな変位量を確保しつつ、耐久性、製造の簡易化、集積化等を達成することにある。【構成】 圧電体薄膜5の上下面に、該圧電体薄膜5を圧電効果により変位させるための電極2,6を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜が膜厚方向に分極軸の分極方向が異なって積層されている複数の層3,4よりなる構成を持つカンチレバー状変位素子、を特徴とする。
Claim (excerpt)：
圧電体薄膜の上下面に、該圧電体薄膜を圧電効果により変位させるための電極を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜が膜厚方向に分極軸の分極方向が異なって積層されている複数の層よりなる構成を持つことを特徴とするカンチレバー状変位素子。
IPC (3)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01L 41/08
