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J-GLOBAL ID：200903084858177221
透明板状体の欠点検査方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995014224
Publication number (International publication number)：1996201313
Application date： Jan. 31, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【構成】 ガラス板38の下方に配設された棒状光源32から棒状光源32の真上に配設された1次元撮像装置36に向けて光を投光する。この光を遮光用マスク34で遮光して直射光が1次元撮像装置36に直接入射しないようにする。そして、ガラス板38に存在する突起物、傷、泡等の欠点38Aで反射した散乱光を1次元撮像装置36で受光して欠点38Aを検出する。【効果】 棒状光源から投光した直射光を1次元撮像装置に直接入射しないようにする暗視野光学系を構成して、空気中のほこりや透明板状体に付着したほこり等を検出せずに、透明板状体の欠点のみを検出する。また、透過型の光学系を構成して透明板状体の表面、裏面及び内部の欠点を同時に検出する。さらに、棒状光源と1次元撮像装置と欠点検出部位とがほぼ1列に並べて光を投光するので欠点形状の異方性を抑えて欠点を検出する。
Claim (excerpt)：
透明板状体に存在する突起物、傷、泡等の欠点を検出する透明板状体の欠点検査方法において、前記透明板状体の一方側に配設された棒状光源から前記透明板状体の他方側に配設された1次元撮像装置に向けて光を投光し、前記棒状光源からの直射光が直接前記1次元撮像装置に入射することを阻止するように、前記投光された光を遮光用マスクで遮光すると共に、前記棒状光源からの光を前記透明板状体に向けて照射し、前記透明板状体の欠点で偏向した光を前記1次元撮像装置で受光して前記欠点を検出することを特徴とする透明板状体の欠点検査方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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