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J-GLOBAL ID：200903084915698179
マイクロポンプ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997081672
Publication number (International publication number)：1998274164
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 シリコン基板上にマイクロマシニング技術を用いて、双方向送液が可能でかつ耐背圧性の高い能動的バルブを有し、かつ圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって薄型化が可能であるマイクロポンプの実現を図ることにある。【解決手段】 薄膜プロセスによってシリコン基板上につくられた弁の開閉をおこなう吐出側、吸入側の二つのダイアフラムと、同じくシリコン基板上につくられた流体を押し出す働きをする一つのダイアフラムと、流体が通過する貫通穴を有しシリコン基板に接合されるガラス基板から構成され、各ダイアフラムに貼り付ける圧電素子を片持ち梁状、または分割して片持ち梁状に取り付けることによって、より大きな変位を得ることのできるユニモルフアクチュエータを実現し、能動的なバルブを有した双方向送液が可能な薄型マイクロポンプを実現する。
Claim (excerpt)：
薄膜プロセスによってシリコン基板上につくられた弁の開閉をおこなう吐出側、吸入側の二つのダイアフラムと、前記シリコン基板上につくられた流体を押し出す働きをする一つのダイアフラムと、流体が通過する貫通穴を有しシリコン基板に接合されるガラス基板と、前記各ダイアフラムに圧電素子を片持ち梁状に取り付けたユニモルフアクチュエータから構成されることを特徴としたマイクロポンプ。
IPC (3)：
F04B 43/04
, F04B 9/00
, F04B 53/10
F04B 43/04 B
, F04B 9/00 B
, F04B 21/02 B
