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J-GLOBAL ID：200903084926608392
静電容量型外力検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997024313
Publication number (International publication number)：1998206169
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 シリコン基板から発生する寄生容量を減少させ、外力の検出感度を向上させる。【解決手段】 シリコン基板22に分離溝38を設け、出力電極パッド37が設けられたパッド形成部36を、検出部23の電極支持体27と容量電圧変換回路32が設けられた回路形成部31とから電気的に分離する。これにより、電極支持体27と回路形成部31の面積を縮小し、検出電極29によって検出される静電容量に混在する寄生容量成分を減少させる。
Claim (excerpt)：
表面側シリコン層と裏面側シリコン層との間に絶縁層を介在させたシリコン基板と、該シリコン基板の表面側シリコン層に設けられ、外力を静電容量の変化により検出する検出部と、前記シリコン基板の表面側シリコン層に設けられ、該検出部から出力される静電容量の変化を電圧信号に変換する容量電圧変換回路と、前記シリコン基板の表面側シリコン層に設けられ、該容量電圧変換回路から出力される電圧信号を外部の信号処理回路に出力するための出力電極とを備え、前記シリコン基板には、前記検出部と容量電圧変換回路が設けられた表面側シリコン層と前記出力電極が設けられた表面側シリコン層とを電気的に分離する絶縁部を設ける構成としてなる静電容量型外力検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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