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J-GLOBAL ID：200903084952072140

マルチ・コンパートメント電気メッキ装置

Inventor： パナヨティス・アンドリカコス ,  モリツ・ブランガー ,  ロバート・マイケル・ブロウネ ,  ジョン・オウエン・デュコヴィック ,  ベンジャミン・ワイ・ブン・フー ,  ロバート・ウィリアム・ヒッツフェルド ,  マッテオ・フロッタ ,  ドナルド・ロバート・マクケナ ,  ルボマイアー・タラス・ロマンキウ ,  サイード・サハミ
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993316840
Publication number (International publication number)：1995300699
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電気メッキした材料が厚さおよび組成の点でほぼ均一となるように、2つ以上の対象に同時に電気メッキするためのマルチ・コンパートメント電気メッキ装置を提供する。【構成】 電気メッキ溶液は、槽とマルチ・コンパートメント・タンク12との間で循環させる。タンクは、各コンパートメントごとに1つのカソード-パドル-アノード(CPA)アセンブリを備えている。各CPAアセンブリはアノード24a,24b、カソード22a,22b、ならびにパドルを有している。カソードは一枚のウェハーを保持するようになっており、また単一の補助電極18を備え、コンパートメントの床の、ウェハーによって被われない部分はすべてこの補助電極によって被われる。また、すべてのパドルを同期して駆動する単一のリニア・モータを収容するカバーが設けられている。

Claim (excerpt)：

少なくとも2つの対象を同時に電気メッキするためのマルチ・コンパートメント電気メッキ装置において、電気メッキ溶液源と、単一のマルチ・コンパートメント・タンクとを備え、このタンクは少なくとも2つの分離したコンパートメントを有し、各コンパートメントは、電気メッキ溶液を入れ、そしてカソード-パドル-アノード(CPA)アセンブリを収容するためのものであり、前記コンパートメントのそれぞれは床と4つの壁とを有しており、前記CPAアセンブリのそれぞれは、アノードと、前記対象の1つを受容し、保持するためのものであり、1つの補助電極を備えたカソードとを備え、前記補助電極は、前記対象によって被われない前記コンパートメントの床のほぼ全体を被い、前記CPAアセンブリのそれぞれはさらに、前記電気メッキ溶液を攪拌するための攪拌手段と、前記コンパートメント内のすべての前記攪拌手段を駆動するための手段とを備え、前記対象のメッキ厚およびメッキ組成がほぼ均一となるようにしたことを特徴とするマルチ・コンパートメント電気メッキ装置。

IPC (5)：

C25D 19/00 ,  C25D 17/00 ,  C25D 17/10 ,  C25D 21/00 ,  C25D 21/10 301