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J-GLOBAL ID：200903084956395628

金属部材

Inventor： 大石 知司 ,  高橋 研 ,  中澤 哲夫 ,  田中 滋 ,  三吉 忠彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995232309
Publication number (International publication number)：1996109480
Application date： Jul. 11, 1990
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】残留有機物の少ない化学量論比のそろった高分子金属ポリマ薄膜が低温で熱処理しない方法で得られる金属部材を提供する。【構成】分解開始温度が300°C以下である基板上に形成された無機ポリマ薄膜の炭素量が0.01 乃至4原子%であって、C-H結合を含み、実質的に金属酸化物からなる非結晶の無機ポリマであることを特徴とする金属部材。【効果】残留有機物の少ない化学量論比のそろった金属部材が低温で熱処理しない方法で得られる。

Claim (excerpt)：

表面に高分子金属酸化物薄膜を有し、該薄膜が、化学量論組成で85原子%以上の酸素含有率及び/または0.01 乃至4原子%の残留炭素量を有することを特徴とする金属部材。

IPC (16)：

C23C 24/00 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/12 ,  C01B 33/12 ,  C01G 1/02 ,  C01G 15/00 ,  C01G 19/02 ,  C01G 23/04 ,  C23C 30/00 ,  H01G 4/33 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/316 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G02B 5/30

FI (2)：

H01G 4/06 102 ,  G02B 1/10 A