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J-GLOBAL ID：200903084967383133

露光照明装置

Inventor： 菅沼 洋
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994235115
Publication number (International publication number)：1996097125
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【構成】 光源部1は、励起レーザ素子2にインジェクションロックされた複数の高調波光発生レーザ素子31、32・・・3n-1、3nと、該複数の高調波光発生レーザ素子がカップリングされた光ファイバー41、42・・・4n-1、4nと、該光ファイバーを束ねて形成した出射端からのレーザ光を集光する集光レンズ5とからなる。移動散乱媒体6は、光源部1からのレーザ光を散乱し透過させる。フライアイレンズ8は、集光レンズ7を介したレーザ光の強度分布を均一化する。強度分布が均一化された高調波レーザ光は、コンデンサーレンズ9によって露光用マスク10上に投影される。【効果】 色収差を避けることができ、超解像を得られ、また故障やメンテナンスにおける操業停止を回避でき、さらに均一でむらのない露光を実現し、ランダムな干渉ノイズを平均化し、かつ高い光源利用率を達成できる。

Claim (excerpt)：

複数のレーザ素子から出射される複数のレーザ光束を集光してなる光源と、上記光源からのレーザ光の散乱状態を変化させる移動散乱媒体と、上記移動散乱媒体からの散乱レーザ光の強度分布を均一化する強度分布均一化手段とを有することを特徴とする露光照明装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/72 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 527