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J-GLOBAL ID：200903084980400691

三次元加速度センサ

Inventor： 横田 吉弘 ,  小出 晃 ,  松本 昌大 ,  林 雅秀
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991301514
Publication number (International publication number)：1993142249
Application date： Nov. 18, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】微小な加速度から衝突に至る百Gにも達する加速度を検出可能な三次元加速度センサを提供すること。【構成】単結晶シリコン1を加工して、枠部3と質量部5とをつなぐダイヤフラム部(B)と質量部5と中心部9とをつなぐダイヤフラム部(A)と梁部10により、質量部5と相対する電極部7とのギャップにより質量部5の加速度によって変位する容量の変化量を各々の電極との間の変化を検出することにより、印加された加速度の方向とレベルを判別する回路を備えた構成となっており、端子部8に接続された回路によって検出するものである。

Claim (excerpt)：

固定電極が配置された支持体と、該支持体に固定された中心部と、可動電極となる質量部と、前記中心部と前記質量部とを接続する連結部材とを備えた三次元加速度センサにおいて、前記連結部材は前記中心部の周囲に設けられたダイヤフラムと梁との組合わせによって構成されていることを特徴とする三次元加速度センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-137569
  
• 特開平2-116755
  
• 特開平4-299227
  
• 特開平4-249726