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J-GLOBAL ID：200903084981450625

光学素子及びその製造方法並びにそれを用いた装置

Inventor：
鈴木 美彦

About 鈴木 美彦


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997337807
Publication number (International publication number)：1999160635
Application date： Nov. 21, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：
【要約】【課題】 入射光の光量の制約が小さく、かつ、光照射で生ずる構造体の発熱が生じても経時変化が少ない光学素子を提供する。【解決手段】 各薄膜12の所定の有効領域の周辺部は、各薄膜12の前記有効領域が基板11上に互いに間隔をあけて重なるように、基板11に対して支持部13を介して支持される。複数の薄膜12は、全体として所定の光学特性を示す。電極層14が、複数の薄膜12の有効領域の下における基板11上に形成される。電極層15が、最上位の薄膜12に形成される。電極14,15間に電圧を印加すると、電極14,15間に生ずる静電気力によって各薄膜12の有効領域が基板11に引き寄せられ、複数の薄膜12の有効領域間の間隔が全て実質的になくなり、複数の薄膜12全体としての光学特性が変化する。
Claim (excerpt)：
基板と、各々の所定の有効領域が前記基板上に互いに間隔をあけて重なるように、各々の当該有効領域の周辺部が前記基板に対して支持部を介して支持された複数の薄膜であって、当該複数の薄膜の前記有効領域が全体として所定の光学特性を示す複数の薄膜と、複数の電極層であって、当該複数の電極層のうちの少なくとも2つの電極層の間に電界を印加した場合にこれらの間に作用する静電気力に応じて、前記複数の薄膜の間の間隔のうちの少なくとも1つの間隔が実質的になくなるかあるいは変化するように、前記複数の薄膜のうちの少なくとも1つの薄膜を弾性変形させて当該薄膜の前記有効領域を前記基板に対して変位させる複数の電極層と、を備えたことを特徴とする光学素子。
IPC (3)：
G02B 26/08 ,  B41J 2/44 ,  G09F 9/30 371
FI (3)：
G02B 26/08 J ,  G09F 9/30 371 ,  B41J 3/00 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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