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J-GLOBAL ID：200903084998098488
変形可能ミラー、及びその組立て方法並びに組立て装置、及び光学装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997170773
Publication number (International publication number)：1999014919
Application date： Jun. 26, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】絶縁部材の帯電を防止し、可撓性部材の変形形状を高精度に保持することが可能な変形可能ミラーを提供する。【解決手段】変形可能ミラー1は、大きく分けると、ミラー基板2、参照基板3、及び電圧印加部4に分けられ、これらから構成される。変形可能ミラー1を変形させるか、変形させないかの切替えは、電圧印加部4により制御される。電圧印加部4によって、可撓性部材5と対向電極8間に交流電圧が印加されると、両者間に静電引力が発生し、可撓性部材5が参照面7に吸引されて、この参照面7に沿った形状に変形する。電圧印加部4による交流電圧の印加を停止すると、可撓性部材5と対向電極8間には静電引力が働かなくなり、可撓性部材5が初期形状に戻る。
Claim (excerpt)：
入射光を反射する反射面を表面に有する可撓性部材と、可撓性部材の周縁を支持する支持手段と、可撓性部材と対向して配置された対向電極と、可撓性部材と対向電極間に介在する絶縁部材と、可撓性部材と対向電極間に極性の変化する交流電圧を印加する電圧印加手段とを備える変形可能ミラー。
IPC (3)：
G02B 26/08
, G02B 5/10
, G02B 7/185
G02B 26/08 J
, G02B 5/10 B
, G02B 7/18 701
Cited by examiner (5)
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