Pat
J-GLOBAL ID：200903084999537515

面位置検出方法、面位置検出装置、合焦装置、露光装置及びデバイスの製造方法

Inventor：
鬼頭 義昭

About 鬼頭 義昭


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003063598
Publication number (International publication number)：2004273828
Application date： Mar. 10, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：
【課題】透過性基板からの反射光のなかに、表面からの反射光のみならず、裏面からの反射光が含まれる場合であっても、透過性基板の表面の高さ情報を正確に検出する面位置検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】透過性基板の被検面に対して斜め方向から光を投射し、透過性基板Wからの反射光を受光することにより透過性基板の面位置情報を検出する面位置検出方法において、透過性基板からの反射光のなかから被検面で反射した被検面反射光を反射光の強度分布Dに基づいて特定して透過性基板の面位置情報を検出する。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
透過性基板の被検面に対して斜め方向から光を投射し、該透過性基板からの反射光を受光することにより該透過性基板の面位置情報を検出する面位置検出方法において、 前記透過性基板からの反射光のなかから前記被検面で反射した被検面反射光を該反射光の強度分布に基づいて特定して該透過性基板の面位置情報を検出することを特徴とする面位置検出方法。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00
FI (3)：
H01L21/30 526B ,  G01B11/00 B ,  G03F9/00 H
F-Term (27)：
2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065CC20 ,  2F065CC25 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065NN08 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ38 ,  5F046BA04 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM