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J-GLOBAL ID：200903085025445040
干渉測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216052
Publication number (International publication number)：1995063507
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 位相測定時間の短縮がはかれるとともに、被測定物及び参照平面ミラーの振動等に対しても測定精度に対する影響を減少させた干渉測定装置を提供する。【構成】 被検物からの測定光束と該測定光束とは周波数を異ならせた参照光束とを重ね合わせて得られた干渉光波よりヘテロダイン信号を得、前記被検物に関連する測定光束の光学的位相変化を検出する装置において、前記干渉光波を検出する光検出手段13に前記へテロダイン信号の各所定位相部分を独立して前記干渉光波の全検出域で一括に検出させるように制御するための制御手段4を設けた。
Claim (excerpt)：
被検物からの測定光束と該測定光束とは周波数を異ならせた参照光束とを重ね合わせて得られた干渉光波よりヘテロダイン信号を得、前記被検物に関連する測定光束の光学的位相変化を検出する装置において、前記干渉光波を検出する光検出手段に前記へテロダイン信号の各所定位相部分を独立して前記干渉光波の全検出域で一括に検出させるように制御するための制御手段を設けたことを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2)：
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