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J-GLOBAL ID：200903085036833867

超純水中の不揮発性不純物の分析および定量方法

Inventor： 水田 隆司 ,  杉山 勇
Applicant, Patent owner： 野村マイクロ・サイエンス株式会社 ,  日本科学工業株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992016908
Publication number (International publication number)：1994130007
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 超純水中の極微量の不揮発性不純物を、周囲からの汚染を受けることなく濃縮し、その成分や濃度を高感度および高精度で分析および定量する。【構成】 供給ライン8から連続的にサンプリングされた超純水1は、アトマイザー4に定量的に供給され、ここでクリーンエア2中に噴霧されて多分散液滴3となる。次いで、生成された液滴3は蒸発乾燥管6に送られ、管内で高温( 120°C)のクリーンホットエア5により水分が完全に蒸発され、その結果、蒸発残渣である不揮発性不純物が乾燥粒子7となる。次に、このような乾燥粒子7は、蒸発乾燥管6の出口に設置されたメンブレンフィルターにより捕集された後、こうして乾燥粒子7を捕集したメンブレンフィルターの表面が、走査マイクロオージェ電子分光装置のような分光分析装置を用いて分析測定される。こうして、超純水中の不揮発性不純物の成分分析および定量がなされる。

Claim (excerpt)：

超純水を清浄な空気または不活性気体中に噴霧して多分散液滴を生成する工程と、生成された前記液滴の水分を、高温加熱された清浄な空気または不活性気体により蒸発させ、不揮発性不純物を乾燥粒子とする工程と、前記乾燥粒子をメンブレンフィルターにより捕集する工程と、前記乾燥粒子を捕集したメンブレンフィルターの表面を、分光分析的手段により分析測定する工程とを備えてなることを特徴とする超純水中の不揮発性不純物の分析および定量方法。

IPC (3)：

G01N 23/227 ,  G01N 1/28 ,  G01N 33/18