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J-GLOBAL ID：200903085045530184
X線光電子分光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 勝広 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993132481
Publication number (International publication number)：1994324010
Application date： May. 11, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 測定時に生じる試料の局所的なチャージアップに対し、それ以外のチャージアップしていない部分に影響を与えることなくチャージ補正を可能とするX線光電子分光装置を提供すること。【構成】 試料とアースとの間に抵抗を設けたことを特徴とするX線光電子分光装置。
Claim (excerpt)：
試料とアースとの間に抵抗を設けたことを特徴とするX線光電子分光装置。
Patent cited by the Patent：
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