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J-GLOBAL ID：200903085058929213

反射防止膜用樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置の製造方法

Inventor： 関野 士郎 ,  山田 善章 ,  石橋 健夫 ,  石川 英一
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999189139
Publication number (International publication number)：2001022081
Application date： Jul. 02, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 エッチング残の発生を抑制する、有機反射防止膜用樹脂組成物を提供する。【解決手段】 反射防止膜用樹脂組成物は、側鎖に、アントラセン環の少なくとも9位と10位に置換基を有するアントラセン誘導体を備えた樹脂を主成分とするものである。

Claim (excerpt)：

アントラセン環の少なくとも9位と10位に置換基を有するアントラセン誘導体を側鎖に有する樹脂を主成分とする反射防止膜用樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/11 503 ,  C08L101/16 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/11 503 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/30 574

F-Term (22)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025DA34 ,  2H025FA03 ,  2H025FA14 ,  2H025FA41 ,  4J002BE021 ,  4J002BG051 ,  4J002CC041 ,  4J002EA066 ,  4J002EB146 ,  4J002EC016 ,  4J002EN056 ,  4J002ES006 ,  4J002ET006 ,  4J002FD310 ,  4J002HA05 ,  5F046CA04 ,  5F046PA07