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J-GLOBAL ID：200903085060824364
隔壁の形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997137111
Publication number (International publication number)：1998326560
Application date： May. 27, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：
【要約】【課題】 転写法において、隔壁の基板上への転写精度を向上させることを課題とする。【解決手段】 隔壁形成用の母型1の隔壁パターンに対応した凹部に埋め込んだ隔壁材料2を基板5の隔壁形成面に転写して隔壁を形成する方法において、凹部の内壁面に対する隔壁材料2の接着力より基板5の隔壁形成面の接着力を大にしたことを特徴とする隔壁の形成方法により上記課題を解決する。
Claim (excerpt)：
隔壁形成用の母型の隔壁パターンに対応した凹部に埋め込んだ隔壁材料を基板の隔壁形成面に転写して隔壁を形成する方法において、凹部の内壁面に対する隔壁材料の接着力より基板の隔壁形成面の接着力を大にしたことを特徴とする隔壁の形成方法。
Patent cited by the Patent：
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