ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000046129
Publication number (International publication number)：2001235865
Application date： Feb. 23, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、得られたレジストパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したときに、線幅の変動が軽減したポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (A)特定のシリコン含有繰り返し単位と、主査に特定の脂環式構造を有する繰り返し単位とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)特定の構造の活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(II)で表される繰り返し単位とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。一般式(I)【化1】式(I)中、R1〜R3は、それぞれ独立にアルキル基、ハロアルキル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、トリアルキルシリル基、又はトリアルキルシリルオキシ基を表す。nは0または1を表す。一般式(II)【化2】一般式(II)中、Mは結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していても良い脂環式構造を形成するための原子団を表す。R11、R12はそれぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子または置換基を有していても良いアルキル基を表す。

IPC (11)：

G03F 7/039 601 , C08F222/00 , C08F222/06 , C08F230/08 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 35/02 , C08L 43/04 , C08L 45/00 , H01L 21/027

FI (11)：

G03F 7/039 601 , C08F222/00 , C08F222/06 , C08F230/08 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 35/02 , C08L 43/04 , C08L 45/00 , H01L 21/30 502 R

F-Term (89)：

2H025AA00 , 2H025AB08 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002BQ001 , 4J002EB106 , 4J002EU186 , 4J002EU216 , 4J002EV006 , 4J002EV066 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002EV316 , 4J002EW176 , 4J002GP03 , 4J100AJ09R , 4J100AK32R , 4J100AL34R , 4J100AL36R , 4J100AL39R , 4J100AL41R , 4J100AM39R , 4J100AM43R , 4J100AM45R , 4J100AM47R , 4J100AP16P , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA05R , 4J100BA06Q , 4J100BA06R , 4J100BA11R , 4J100BA12Q , 4J100BA15Q , 4J100BA16Q , 4J100BA16R , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BA34Q , 4J100BA35Q , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA43R , 4J100BA53R , 4J100BA55R , 4J100BA58Q , 4J100BA58R , 4J100BA71P , 4J100BA72P , 4J100BA77P , 4J100BA81P , 4J100BA82P , 4J100BB01Q , 4J100BB18R , 4J100BC04R , 4J100BC08R , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC12Q , 4J100BC12R , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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