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J-GLOBAL ID：200903085094692181

グロー放電管光源を用いた光化学的材料処理方法

Inventor： ジヤン・フリクステン ,  イヴ・ニツセン ,  クリスシヤン・リコツプ ,  イヴ・ヴイト
Applicant, Patent owner： フランス・テレコム・エタブリスマン・オウトノム・デ・ドロワ・パブリツク
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992108479
Publication number (International publication number)：1993117863
Application date： Apr. 02, 1992
Publication date： May. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】 低温で「穏やかな」CVD蒸着層を形成することであり、スパッタリング、電子銃、分子線法、及びプラズマ-アシスト蒸着等のより「激しい」蒸着方法を排除すること。【構成】 本発明によれば、固体材料の光化学処理方法は、低圧の稀ガスを封入した少なくとも一つの長尺のグロー放電管(4)により生成される光パルスで、前記材料を露光する工程を備え、前記グロー放電管のガス、圧力、及び放電特性を前記材料及びその前駆物質に適合させて、各パルスは160乃至5000nmの拡散発光スペクトルを有する。調整可能な電気特性(LC)を備えた電気回路により、グロー放電管の放電特性及びこの放電に必要なエネルギの蓄積を調整することができる。

Claim (excerpt)：

固体材料の光化学処理方法であって、低圧の稀ガスを封入した少なくとも一つの長尺のグロー放電管により生成される光パルスで、前記材料を露光する工程を備え、前記グロー放電管のガス、圧力、及び放電特性を、前記材料及びその前駆物質に適合させ、更に、各パルスが、160乃至5000nmの広範な発光スペクトルを有することを特徴とする方法。

IPC (4)：

C23C 16/44 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/48 ,  H01L 21/31