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J-GLOBAL ID：200903085134418860

改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡

Inventor： ジーン・アイ・モンターギュ
Applicant, Patent owner： ジェネラル・スキャンニング・インコーポレイテッド
Agent (1)： 古谷 馨 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993169946
Publication number (International publication number)：1994202023
Application date： Jul. 09, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 共振走査の高速処理能力を採用することができ、またパニング能力を必要とする場合であっても共振的に走査を行うことが可能である、目標領域における目標スポットの位置の変更機構を備えた共焦点顕微鏡を提供すること【構成】 スキャナアセンブリ38を備えた共焦点型顕微鏡10であり、x軸デフレクタアセンブリは平行な軸に関して異なる周波数で発振する2つの共振型スキャナ50,52を備える。ここで前記周波数の一方は他方の高調波周波数である。結果として、x軸走査はそれが共振的に提供された場合であってもほぼ線形とすることができ、このため共振システムの高速処理能力により利益を得ることができる。ガルバノメータ式スキャナ64はその軸のまわりに共振型スキャナ50の内の1つのハウジングを回動させてx軸のパニングを提供する。

Claim (excerpt)：

光源及び光検出器の内の少なくとも一方と、目標領域中の目標スポットと前記光源または前記光検出器との間の光路を決定する手段と、前記光路中に配置されたスキャナアセンブリであって、偏向軸と、第1の基本共振周波数及びその基本共振周波数の高調波である別の高調波共振周波数の両方での共振とに関連する、少なくとも1つのデフレクタアセンブリと、前記2つの共振周波数における目標スポットの動作成分間の所定の位相関係を維持するための制御装置を備え、前記デフレクタアセンブリを非共振的に駆動すると同時にそのデフレクタアセンブリを基本共振周波数及び高調波共振周波数で共振的に駆動することにより、関連する偏向軸に対してほぼ平行な方向に目標スポットの位置を変化させる駆動機構とを備えた前記スキャナアセンブリとから成ることを特徴とする、光学機器。

IPC (2)：

G02B 26/10 ,  G02B 21/00