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J-GLOBAL ID：200903085143323987

超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置

Inventor： 山中 一司
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院機械技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995344902
Publication number (International publication number)：1997159681
Application date： Dec. 06, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 試料に振動子を接着せず、なおかつ試料を振動させた場合と同様の効果を実現する技術を開発することにより、大型・複雑形状部品や微小機械の非破壊検査などへの適用を可能な物性の計測方法を提供すること。【構成】 カンチレバー11の一端に設けた探針4を試料8に接触させた状態で、カンチレバー11にカンチレバーの基本共振周波数の10倍以上1000倍以下の周波数の振動力を作用させ、この結果カンチレバーに高次モードの振動を励起することによって、試料の物性を計測する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの一端に設けた探針を試料に接触させた状態で、カンチレバーにカンチレバーの基本共振周波数の10倍以上1000倍以下の周波数の振動力を作用させ、この結果カンチレバーに高次モードの振動を励起することによって、試料の物性を計測することを特徴とする超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 17/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N 37/00 F ,  G01B 17/00 Z ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 21/66 L