感光性フィルム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334603
Publication number (International publication number)：1994180503
Application date： Dec. 15, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】レジストの成膜性を悪化させることなく、微細凹凸表面への追従性および現像性に優れたレジストフィルムを開発すること。【構成】平均分子量が10万未満,好ましくは1万以下である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に、耐熱性微粉末を分散してなる組成物が、シート状に形成されているレジストフィルムであり、より望ましくは、前記耐熱性微粉末が、予め硬化された耐熱性樹脂微粉末または無機微粉末のいずれかであり、その配合量が感光性樹脂マトリックスに対して5〜80 vol%で、その平均粒径が0.01〜10μmの範囲にあるレジストフィルムである。

Claim (excerpt)：

平均分子量が10万未満である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に、耐熱性微粉末を分散してなる組成物が、シート状に形成されていることを特徴とするレジストフィルム。

IPC (4)：

G03F 7/038 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , H05K 3/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開平1-142547
特開平2-306246
特表平2-502587

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