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J-GLOBAL ID：200903085181969548

銀の増反射膜およびそれを用いたカラー液晶表示装置

Inventor： 前野 光史 ,  田中 充浩 ,  佐合 由志
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 西教 圭一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000331296
Publication number (International publication number)：2002139609
Application date： Oct. 30, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】 色調を改善するためにSiN膜を用いても銀あるいはその合金膜と剥離しない銀の増反射膜とこの銀の増反射膜を用いた半透過反射型または反射型液晶表示装置を提供する。【解決手段】 液晶表示装置2が備える一方基板6の透光性基板31の上に、マット層32が形成され、このマット層32の上に半透過反射金属膜である銀の合金膜33が形成さる。この銀の合金膜33の上にSiN膜34が形成され、このSiN膜34の上にSiO2膜35が形成される。さらにこの上に、カラーフィルタ電着用ITO膜36が形成される。SiN膜34とカラーフィルタ電着用ITO膜36との間に、SiO2膜を形成することによって、製造工程で受ける熱などによって発生する応力で、銀の合金膜33とSiN膜34との界面に生じる剥離を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

基板上に設けた銀あるいはその合金膜の上に、窒化シリコン膜、ITO膜をこの順に積層した銀の増反射膜において、前記窒化シリコン膜とITO膜との間に応力緩和膜を介在させたことを特徴とする銀の増反射膜。

IPC (5)：

G02B 5/08 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/02 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 520

FI (5)：

G02B 5/08 A ,  G02B 5/02 C ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 520 ,  G02B 1/10 Z

F-Term (26)：

2H042BA03 ,  2H042BA12 ,  2H042BA20 ,  2H042DA04 ,  2H042DA18 ,  2H042DE04 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA11X ,  2H091FA11Z ,  2H091FA14Y ,  2H091FA15Y ,  2H091FA23Z ,  2H091FA35Y ,  2H091FA41Z ,  2H091GA02 ,  2H091GA08 ,  2H091GA16 ,  2H091HA10 ,  2H091LA15 ,  2H091LA30 ,  2K009BB06 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009EE00