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J-GLOBAL ID：200903085185179118

偏心測定装置

Inventor：
安垣 誠人

About 安垣 誠人


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (2)： 篠原 泰司 ,  藤中 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003270736
Publication number (International publication number)：2005024505
Application date： Jul. 03, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：
【課題】非球面量が大きい被測定物に対しても、干渉縞を高精度に測定して、高精度に偏心を測定できる偏心測定装置を提供する。 【解決手段】光源部3’と、光軸上を可動な参照ミラー6と、ビームスプリッタ5と、ビームスプリッタ5で合成された光を撮像する撮像素子10と、撮像素子10で撮像された、光路中に置かれた被検レンズ系1に光束を通して得られた被検レンズ系1のi面(ただし、iは1〜nの範囲で段階的に参照ミラー6の位置を光軸上に移動させたときに参照ミラー6の波面と被検物の波面とが交わる被検レンズ系1の面位置)を含む反射光と参照ミラー6の反射光とによる干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検レンズ系1のi面の偏心を求める処理手段を有し、かつ、光源部3’を、可干渉距離が10μmを超えない超低コヒーレンス光源で構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光源部と、光軸上を可動に構成された参照ミラーと、前記光源部からの光を被検物側と前記参照ミラー側とに分割する光路分割手段と、被検物からの反射光と前記参照ミラーからの反射光とを合成する光路合成手段と、前記光路合成手段で合成された光を撮像する撮像素子と、前記撮像素子で撮像された、光路中に置かれた被検物に光束を通して得られた被検物のi面(ただし、iは1〜nの範囲で段階的に前記参照ミラーの位置を光軸上に移動させたときに該参照ミラーの波面と被検物の波面とが干渉する被検物の面位置)を含む反射光と前記参照ミラーの反射光とによる干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物のi面の偏心を求める処理手段を有し、かつ、 前記光源部を、超低コヒーレンス光源で構成したことを特徴とする偏心測定装置。
IPC (2)：
G01B11/00 ,  G01M11/00
FI (2)：
G01B11/00 D ,  G01M11/00 L
F-Term (12)：
2F065AA16 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL62 ,  2F065MM26 ,  2G086FF04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)
  • 特開昭62-218248
  • 特開平3-287424
  • 車両のウインカー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-027117   Applicant：菅沼攻招

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