赤外線検出素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993271390
Publication number (International publication number)：1995128140
Application date： Oct. 29, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】クロストークを防止し、小型化を図る。【構成】基板1上に2個以上の赤外線検出部6を有し、赤外線の吸収による赤外線検出部6の温度変化を、薄膜抵抗体4の抵抗値の変化として捉える赤外線検出素子で、水平方向の単位長さ当たりの熱抵抗が大きい熱絶縁膜9を、基板1上に形成し、基板1を局所的に除去して、薄膜体ブリッジ構造9aを形成し、2個以上の赤外線検出部6を同一の薄膜体ブリッジ構造9a上に形成した。【効果】赤外線検出部6間のクロストークを防止でき、小型化、製造コストの削減を図れる。

Claim (excerpt)：

基板上に2個以上の赤外線検出部を有し、赤外線が入射した際の赤外線の吸収による前記赤外線検出部の温度変化を、抵抗値の変化または、起電力の変化として捉えるための抵抗体、または熱電対、またはサーモパイル、または焦電体が、前記赤外線検出部に設けられている赤外線検出素子において、水平方向の単位長さ当たりの熱抵抗が大きい薄膜体を、前記基板上に形成し、前記基板を局所的に除去して、前記薄膜体の一部を中空に浮かせた、いわゆる、薄膜体ブリッジ構造を形成し、2個以上の前記赤外線検出部を同一の前記薄膜体ブリッジ構造上に形成したことを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (5)：

G01J 1/02 , G01J 5/12 , G01J 5/20 , H01L 35/32 , H01L 37/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

赤外線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-352113 Applicant：松下電工株式会社
特開平4-158583
温度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-208252 Applicant：松下電工株式会社

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