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J-GLOBAL ID：200903085240100186

オゾンの供給方法及び装置

Inventor： 讃井 宏 ,  岩本 一帆 ,  米倉 正浩
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 木戸 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000313361
Publication number (International publication number)：2002121011
Application date： Oct. 13, 2000
Publication date： Apr. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 吸着剤の劣化やオゾンの分解を抑制しながら、オゾン発生器でのオゾンの発生効率を高めることができるオゾンの供給方法及び装置を提供する。【解決手段】 オゾン発生器に導入するオゾン原料としての酸素ガス中に二酸化炭素を添加し、該二酸化炭素の濃度を10ppm〜10%の範囲に制御する。

Claim (excerpt)：

無声放電式のオゾン発生器で発生させたオゾンを含有する酸素ガスを吸着筒に導入して前記オゾンを吸着筒内の吸着剤に吸着させるとともに、該吸着剤に吸着せずに吸着筒から導出した酸素ガスをオゾン原料として前記オゾン発生器に循環させる吸着工程と、前記吸着剤から脱着させたオゾンを掃気ガスに同伴させてオゾン使用先に供給する脱着工程とを交互に繰返して高濃度のオゾンを供給する方法において、前記オゾン発生器に導入するオゾン原料ガス中の二酸化炭素濃度を10ppm〜10%の範囲に制御することを特徴とするオゾンの供給方法。

IPC (2)：

C01B 13/10 ,  C01B 13/11

FI (2)：

C01B 13/10 C ,  C01B 13/11 L

F-Term (6)：

4G042AA07 ,  4G042CA01 ,  4G042CB01 ,  4G042CB12 ,  4G042CB21 ,  4G042CE04