Pat

J-GLOBAL ID：200903085244720146

スペクトル線の選択が可能なF2レ-ザ-装置及びスペクトル線の選択方法

Inventor： ユルゲン・クラインシュミット ,  ペター・ハイスト ,  フランク・ボシュ ,  アンドレアス・ゲートラー
Applicant, Patent owner： ラムダ・フィジック・ゲゼルシャフト・ジュル・ハーステルラング・フォン・ラゼルン・エムベーハー
Agent (1)： 山崎 行造 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999158517
Publication number (International publication number)：2000012946
Application date： Jun. 04, 1999
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】レーザー装置の157 nm付近で僅かに離間した複数のスペクトルの線をうちの1つの線を波長選択光学装置によって選択する。【解決手段】 例えば、F2レーザー装置の波長選択光学機器は放電チャンバ8のレーザーガス空間を囲む複屈折ブルースター窓を含む。窓は好ましくはMgF2を含み、放電チャンバの一端に位置する。窓の光学厚さが窓の回転調整可能な、直交する屈折率との調整で選択されるとき、僅かに離間した多数の線のうちの1つの線が選択される。窓の透過率は直交する屈折率と窓の光学厚さに依存する。

Claim (excerpt)：

F2レーザー装置であって、157nmから158nmの間の波長範囲において僅かに離間した複数のスペクトル線を含むスペクトルバンドを発生させる1対の離間した電極と、レーザー活性ガスとを包含する放電チャンバと、光共振器と、前記僅かに離間した複数のスペクトル線のうちの1つまたは2つ以上を前記F2レーザー装置の出力発光として選択する波長選択光学機器とを、含んでなるF2レーザー装置。

IPC (3)：

H01S 3/223 ,  G21K 1/06 ,  H01S 3/105

FI (3)：

H01S 3/223 Z ,  G21K 1/06 A ,  H01S 3/105